Espaço: Caracterização - Equipamentos
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Elipsometria
Compensador rotatório. Ângulo variável automático. Faixa espectral de 250 nm a 1690 nm.
A amostra deve ser especular, sem variação de espessura. Não pode ser curva, abaulada ou inclinada. A rugosidade da superfície deve ser menor que aproximadamente 20 nm, em uma área de 1 cm x 1 cm.
O spot da luz é elíptico, com 5 mm em uma direção e até 8 mm na outra.
Os treinamentos neste equipamento estarão disponíveis a partir de março de 2026.