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LCPNANO

Espaço: Processamento - Equipamentos

Spin Coating

Laurell WS-650SZ-6NPP/lite

Laurell WS-650SZ-6NPP/lite

O spin coater Laurell WS-650  possui sistema de revestimento da série 650 que acomoda wafers de até ø150 mm e substratos de 5 "× 5" (127 mm × 127 mm) e apresenta uma velocidade de rotação máxima de 10 000 RPM com estágios múltiplos (com base em um wafer de silício de ø100 mm).

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