Espaço: Processamento - Equipamentos

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Sistema de Evaporação Térmica e por Feixe de Elétrons (Angstrom)

Modelo: EvoVac (Angstrom Engineering).

Materiais disponíveis:

Para evaporação térmica: alumínio e ouro.
Para evaporação por feixe de elétrons: cromo, titânio e dióxido de silício.

LCPNano - Laboratório de Caracterização e Processamento da Nanomateriais da UFMG
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